1)多層膜結構的測試分析軟X射線多層膜的結構分析主要包括周期厚度的測量和多層膜的結構分析。厚度的測量一般可采用高分辨的臺階儀和高分辨的光學干涉顯微鏡,但對X光膜的每層厚度來說,這兩種方法的測量精度都太差,并且不能...[繼續閱讀]

    2.2.6.1　13.9nmMo/Si多層膜反射鏡的研制13.9nm是軟X射線激光的重要輸出波長。在極紫外光刻[15]和激光等離子體的診斷中有重要的應用。通過前面的討論可以知道,在13nm附近Mo/Si是制備多層膜的一對很好的材料。采用Mo/Si材料對進行優化設...[繼續閱讀]

    軟X激光腔由軟X增益介質與正入射多層膜反射鏡和分束鏡組成。軟X射線激光輸出鏡通常有兩種形式,如圖2-2-54(a)和(b)所示,前者由光柵和多層膜組成,在這方面我們研制了位相型光柵和多層膜構成的軟X激光輸出鏡,取得了良好的結果;后...[繼續閱讀]

    一般光柵具有色分辨衍射的功能,但X射線裸光柵在入射角不大的條件下,其衍射效率是非常低的。把多層膜技術和光柵技術結合起來,則可以大大提高衍射效率。多層膜軟X射線衍射元件正是建立在這個基礎上的。根據實際可能,采用矩...[繼續閱讀]

    [1]B.L.Henke,P.Lee,T.J.Tanaka,etal..Theatomicscatteringfactorf1+if2,for94elementsandforthe100to2000evphotoenergyregion[C].AIP,1981,75:340-381.[2]B.L.Henke.LowenergyX-rayinteractions:photoionization,scattering,specularandBraggreflection[C].AIP,1981,75:146-...[繼續閱讀]

    衍射光柵,是一類重要的光學元件,在超短脈沖的脈寬壓縮與展寬中有重要應用。早期的反射型衍射光柵一般都是采用金屬膜作為反射層的。但是,受到材料本身性質的限制,金屬膜存在兩個明顯的缺點:一是衍射效率不夠高,二是激光破...[繼續閱讀]

    用嚴格矢量理論可以對多層介質膜光柵的衍射特性進行數值計算和分析。研究衍射效率隨浮雕光柵的槽深、占寬比、剩余厚度、入射角度、波長、梯形光柵的角度、分層數目、諧波數目以及多層介質膜折射率和厚度誤差等因素的變...[繼續閱讀]

    2.3.3.1　優化思路以及方法用于脈沖壓縮系統中的MDG需要提供盡可能高的衍射效率和激光破壞閾值。為滿足壓縮光柵這種特殊的性能要求和復雜的制備工藝流程,MDG的設計主要包括3個方面的內容:第一,用于制作MDG的多層介質膜(簡稱光...[繼續閱讀]

    2.3.4.1　光柵結構層的等效折射率近似在特定條件下,光柵的光學性質可以用混合材料的等效介質模型來描述。在相關模型中,根據光柵結構的不同和要求精度的不同,其等效折射率可以分別用靜態理論的一階等效介質模型和電磁理論的...[繼續閱讀]

    超短脈沖激光,對應更寬的工作頻寬,這就要求頻帶更寬的脈沖壓縮光柵與之匹配。但是,在多層膜脈沖壓縮光柵的實際設計中,負一級衍射的頻譜寬度,除了受限于反射帶寬外,更會由導模共振的發生而受到限制。由導模共振色散特性的...[繼續閱讀]