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    激光與光電子學進展(2022年09期)
    Laser & Optoelectronics Progress

    • 基本信息
    • 國外激光

      中國科學院上海光學精密機械研究所

      半月

    • 1006-4125

      31-1690/TN

      上海市

      中文;

      大16開

      4-179

      1964

    • 出版信息
    • 信息科技

      物理學

      20525篇

    • 4172007次

      96396次

    • 評價信息
    • 2.362

      1.692

    • INSPEC 科學文摘(英)(2024)

      JST 日本科學技術振興機構數據庫(日)(2024)

      CSCD 中國科學引文數據庫來源期刊(2023-2024年度)

      WJCI 科技期刊世界影響力指數報告(2023)來源期刊

      1992年(第一版),2004年版,2008年版,2011年版,2014年版,2017年版,2020年版,2023年版

      中國國際影響力優秀學術期刊;

    目 錄

    • 芯片制造語境下的計算光刻技術
    • 極紫外光刻光源的研究進展及發展趨勢
    • 光刻機運動臺控制方法研究進展
    • 極紫外(EUV)光刻膠的研發
    • 先進光刻技術的發展歷程與最新進展
    • 深紫外計算光刻技術研究
    • 計算光刻研究及進展
    • 先進計算光刻
    • 步進掃描投影光刻機照明系統技術研究進展
    • 光刻投影物鏡畸變檢測技術
    • 面向IC光刻的超精密運動臺控制技術
    • 浸沒式光刻機浸液系統污染控制研究現狀及進展
    • 光刻調焦調平測量技術的研究進展
    • 光刻技術中的聚焦控制
    • 激光外差干涉技術在光刻機中的應用
    • 超精密高速激光干涉位移測量技術與儀器
    • 面向光刻機晶圓臺的超精密光柵定位技術
    • 準分子激光光刻光源關鍵技術及應用
    • EUV光刻三維掩模成像研究進展
    • 極紫外光刻掩模缺陷檢測與補償技術研究
    • 光刻套刻誤差測量技術
    • 多層壓電驅動器在光刻機中的應用
    • 集成電路制造在線光學測量檢測技術:現狀、挑戰與發展趨勢
    • 系統工程方法及其在先進半導體裝備領域的應用
    • 亞十納米導向自組裝與深紫外混合光刻技術
    • 下一代光刻機技術的探索:第六代雙光束超分辨光刻機概念、技術和未來
    • 激光超衍射光刻原理與技術
    • 數字微鏡無掩模光刻技術進展及應用
    • 光刻技術六十年
    • “光刻技術”專題前言
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