現代化產業體系中科技創新與產業創新的深度融合：全球新一代光刻系統的啟示

摘要： 以科技創新引領現代化產業體系建設是把握新一輪科技革命和產業變革機遇的戰略選擇，也是面向高水平科技自立自強贏得戰略主動的必然之舉?？萍紕撔率钱a業創新的內生動力，產業創新是科技創新的價值實現，構建和完善現代化產業體系關鍵在于實現科技創新和產業創新的深度融合。文章以全球極紫外（EUV）光刻系統為例，基于創新鏈視角，從“應用基礎研究—應用研究—中試放大—大規模量產”4個階段對EUV光刻...