質子輻照對CMOS圖像傳感器傳輸柵損傷效應的實驗與分析

摘要： 互補金屬氧化物半導體圖像傳感器（CIS）是一種當前應用非常廣泛的光電圖像傳感器，其應用在空間輻射環境中時遭受的質子輻照損傷問題一直備受關注。為了分析CIS內部重要結構受輻射損傷影響及輻照損失機理，開展了關于CIS傳輸柵的質子輻照實驗，通過測試輻照前后轉移特性曲線并提取閾值電壓和飽和輸出電流，總結CIS傳輸柵的輻照損傷實驗規律。對常溫下經過輻照后的CIS開展了退火測試，分析相關特...