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    單晶金剛石的動態摩擦拋光

    中國科學院大學學報(中英文) 頁數： 8 2024-09-15
    摘要： 在眾多單晶金剛石拋光方法中，動態摩擦拋光(DFP)因其具有極高的去除速率而受到廣泛關注。研究DFP過程中3種拋光參數(拋光載荷、拋光時間和拋光盤線速率)以及3種夾持方式(粘接式、鑲嵌式和卡鉗式)對單晶金剛石拋光效果的影響。結果表明：增大拋光載荷、拋光時間和拋光盤線速率，都會導致樣品的質量損耗增加和表面粗糙度降低，并提升金剛石(400)面的衍射峰強度。在3種夾持方法中，粘接式夾持... （共8頁）

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