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GaN器件金剛石近結集成熱管理技術研究進展

固體電子學研究與進展頁數： 7 2024-12-25

摘要： GaN器件大功率及高功率密度的發展受限于其自生熱和近結區散熱能力引起的器件結溫升高問題，導致器件性能嚴重下降，GaN器件的大功率潛能遠未得到發揮，金剛石近結集成熱管理技術是解決GaN器件熱瓶頸的重要途徑。本文詳細論述GaN器件近結熱管理技術的重要性，并對近年來國際上正在開展的金剛石近結散熱技術方法進行系統分析和評述，揭示了金剛石與GaN器件近結集成工藝途徑及面臨的技術挑戰，闡述... （共7頁）

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