基于光流像素匹配的掃描顯微相位測量輪廓術

摘要： 在掃描相位測量輪廓術中，需要先將不同位置的物體匹配到同一點，再根據相移算法提取相位信息，而像素匹配精度與相移算法均會影響測量精度。為此，采用顯微系統，根據其遠心光路特性實現物體移動量與像素移動量的等量轉換；通過交替采集白場圖像和條紋圖像，由白場圖像通過光流法實現精確的像素匹配，再根據物體勻速運動特點實現條紋圖像的精確像素匹配；根據初始條紋周期選擇基本符合滿周期的N幅條紋圖，由任... （共11頁）