系統工程方法及其在先進半導體裝備領域的應用

摘要： 系統工程方法在國內外以航空航天、國防科技和船舶工程等為代表的復雜設備系統的研發中發揮了重要作用。
針對以光刻機為代表的先進半導體裝備的研發，發展和提升以正向設計引領、以系統工程方法為指導的自主創新和設計制造一體化能力顯得尤其重要。
從系統工程的起源著手，介紹了系統工程的常見方法，并以半導體裝備領域的應用為背景重點介紹了系統工程的工具鏈和基于模型的系統工程（MBSE）的部分關鍵技術。 （共11頁）